真空炉的真空系统工作时，先启动机械泵、维持泵和扩散泵，同时打开前级阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度达到系统某一设定值时，罗茨泵启动，同时旁路阀打开，前级阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前级阀打开。此时对真空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。
真空炉的电器故障分析：
真空炉温度过高报警：
1.先检查所在工作区温控器参数是否正常，参考其他正常使用中的温控器校对所有参数。
2.根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出端是否被击穿。可在停电后，用万用表电阻档测量固态继电器输出端两点之间的电阻，正常时，电阻会有几兆欧以上，如果被击穿，则几乎没有电阻，必须按同型号换上新的。
3.在通电开机的情况下，用手轻摇相应工作区内的热电偶探头，看看所对应的温控器显示是否跳动幅度很大，如果有此现象，则说明热电偶探头接触不良，需更换新的。
真空炉显示温度偏低：
1.先检查所在工作区温控器的参数是否正常，是否有输出信号。
2.检查所对应工作区的热电偶是否受损，为了验证这些热电偶是否良好，可将它们跟正常温控器上的热电偶互换接到温控器上，观察温度显示情况。如果确实是热电偶损坏，必须更换。
3.如果温控器、热电偶都没问题，则需要测验发热管是否正常通电工作。可在通电开机后，启动加热，根据电路图，直接用试电笔测试对应工作区的发热管连接的导线，看是否有电到。如果有电到达，还需要用钳表测量一下电流是否与其他工作区的差别，正常情况差异不大。
4.如果没有电到达，则必须按电路图对电路逐一检查。
