1)电弧熔炼室:立式圆筒型真空室。
2)冷态极限真空度:≤6.7x10-4 Pa.
3)熔炼电流:额定电流1000 A.
4)设备加热温度:3500~4000℃.
5)熔炼埚有五个工位,三个熔炼合金工位(一个带电磁搅拌),一个熔炼除气工位,一个吸铸工位。
6)熔炼样品重量(以铁标定):1x500克,1x200克,1x100克。
7)熔炼除气工位(以铁标定):1X80克。
8)吸铸工位(以铁标定):1x80克
9)电弧熔炼阴极装置:引弧方式为高频和接触式引弧。
非自耗真空电弧炉是利用等离子体的高温、高能量和高活性进行金属材料的熔炼和自然晶体生长。真空电弧加热方式使用射频(RF)发生器产生高频应用场来引导铝箔放电,形成电弧及其等离子体。当铝箔被加热到其熔点以上时,它流动到集合内静电场所达到的垂直表面之上,随即由于放电中所释放的热量再次熔融。
通过射频激励产生的正交场驱使电子和离子振荡同时进行,从而沿水平方向等离子体根据振荡情况形成横立电极间的放电,将铝箔熔化。产生等离子体振荡与固体的粉末材料喷入同步进行,使晶体从等离子被构成之间的沉积所形成。
为了使炉内通量达到这么高,采用了复合泵结构。它的系统由机械泵,分子泵和涡流泵三个主要元素组成。机械泵接在实验的气缸中,可以把气压降低到10~20Pa。在机械泵附近的地方,有一台分子泵,该泵通过热板对时机长出的气体进行压缩。因此,把机械泵科学地注入高分子涂层膜后,很快就可以将在炉内流动的气压降低到10-6mbar下面,这样也可以使处理材料时营造适合的环境。